半導體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應到工藝設備內. 上海伯東美國 HVA 插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來改變氣流方向, 調節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應用于半導體氣體管路中!
半導體管道插板閥應用示意圖 現(xiàn)場圖
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伯東公司成立于1953 年,超過65年歷史.
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上海伯東是美國 HVA 插板閥在中國地區(qū)唯一指定總代理商.
上海伯東美國 HVA 插板閥優(yōu)勢
1. 滿足高真空（1E10-9 mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）應用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅固耐用, 超長使用壽命, 可達 1,000,000 啟動次數(shù)
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級泵, 渦輪分子泵等完美聯(lián)用
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S
6. 可選擇驅動方式多, 手, 氣,電動可選
7. 有效保護分子泵. 氣動和電動插板閥均帶信號反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時可以起到截斷一些特殊氣體, 保護分子泵的作用
8. 標準或定制法蘭滿足不同應用
9. 國際標準, 插板閥整機美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口
美國 HVA 超過 40年的閥門研發(fā)生產經(jīng)驗, 與友廠對比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.
美國 HVA 插板閥主要型號
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