半導體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(tǒng) ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩(wěn)定的供應到工藝設備內. 上海伯東美國 HVA 插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環(huán)節(jié), 用來改變氣流方向, 調節(jié)氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應用于半導體氣體管路中!
半導體管道插板閥應用示意圖 現場圖
為什么選擇伯東?
伯東公司成立于1953 年,超過65年歷史.
上海伯東所有產品保證100%原裝進口, 擁有強大售后服務團隊, 擁有完全的拆解, 維修, 校正能力并提供24小時在線服務.
上海伯東是美國 HVA 插板閥在中國地區(qū)唯一指定總代理商.
上海伯東美國 HVA 插板閥優(yōu)勢
1. 滿足高真空（1E10-9 mabr）和超高真空（1E10-10 mbar）應用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅固耐用, 超長使用壽命, 可達 1,000,000 啟動次數
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級泵, 渦輪分子泵等完美聯(lián)用
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9 mbar l/S
6. 可選擇驅動方式多, 手, 氣,電動可選
7. 有效保護分子泵. 氣動和電動插板閥均帶信號反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時可以起到截斷一些特殊氣體, 保護分子泵的作用
8. 標準或定制法蘭滿足不同應用
9. 國際標準, 插板閥整機美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口
美國 HVA 超過 40年的閥門研發(fā)生產經驗, 與友廠對比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.
美國 HVA 插板閥主要型號
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式：
上海伯東是德國 Pfeiffer 真空設備, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應加熱設備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商 .我們真誠期待與您的合作！
上海伯東: 葉女士 臺灣伯東: 王女士
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
