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        深圳市威固特超聲波科技開發(fā)有限公司

        超聲波清洗機、純水機、冷水機

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        深圳威固特VGT-1403FH藍(lán)寶石襯底超聲波清洗機

        產(chǎn)品價格詢價

        產(chǎn)品品牌威固特

        最小起訂≥2 套

        供貨總量3 套

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        企業(yè)旺鋪http://szweigute.48903.com/

        更新日期2021-09-06 21:24

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        深圳市威固特超聲波科技開發(fā)有限公司

        聯(lián) 系  人:唐先生(先生) 經(jīng)理 

        聯(lián)系固話:0755-28035588

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        商品信息

        基本參數(shù)

        品牌:

        威固特

        所在地:

        廣東 深圳市

        起訂:

        ≥2 套

        供貨總量:

        3 套

        有效期至:

        長期有效
        詳細(xì)說明

        一、引言(學(xué)習(xí)藍(lán)寶石襯底的用意及用處)

        近二十年來,氮化鎵基發(fā)光二極管取得了飛躍式發(fā)展,并實現(xiàn)了大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。氮化鎵基發(fā)光二極管由于其高效、節(jié)能、環(huán)保等優(yōu)越性能,將取代現(xiàn)有的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態(tài)照明工具。

        然而,同質(zhì)外延生長所需的高質(zhì)量GaN襯底的價格昂貴且遠(yuǎn)不能滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求。現(xiàn)有的外延襯底大部分仍是藍(lán)寶石,由于藍(lán)寶石與GaN材料存在晶各失配和熱失陪等缺點,這阻礙了GaN晶體質(zhì)量的提高,從而導(dǎo)致了GaN的發(fā)光器件性能的進一步提高。大量研究表明,圖形化藍(lán)寶石襯底有利于降低晶體的位錯密度和應(yīng)力釋放,從而大大改善GaN晶體的質(zhì)量和GaN的發(fā)光器件性能。

        二、藍(lán)寶石襯底的常規(guī)清洗方法

        在正常的室溫下,有機溶劑超聲清洗,以及加熱條件下,丙酮浸泡。

        實施本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底清洗方法,取消了傳統(tǒng)清洗方法中使用的三氯乙烯試劑,減少了環(huán)境污染,避免人員中毒,在清洗過程中,使用超聲波和加熱清洗,可節(jié)省清洗時間,提高清洗效率和質(zhì)量。工藝簡單、操作方便,滿足環(huán)保要求。

        然而,使用超聲波清洗機清洗藍(lán)寶石襯底,是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。

        三、藍(lán)寶石襯底清洗用超聲波設(shè)備類型中的光學(xué)超聲波清洗機

        深圳威固特VGT-1403FH為光學(xué)超聲波清洗機,設(shè)備共有14個功能槽,配置有循環(huán)過濾系統(tǒng)、有機溶劑蒸餾回收系統(tǒng)、自動恒溫系統(tǒng)、拋動系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、抽風(fēng)裝置、環(huán)保液前處理系統(tǒng)、慢拉脫水、熱風(fēng)烘干等。設(shè)備采用環(huán)保型有機溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、離心烘干為環(huán)保型清洗機。是藍(lán)寶石襯底在清洗設(shè)備上值得首要考慮的。

        四、深圳威固特VGT-1403FH光學(xué)超聲波清洗機的小部分結(jié)構(gòu)配置是這此需了解的

        熱風(fēng)烘干槽:

        結(jié)構(gòu):每個烘干槽配置一套氣缸

        加熱系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

        1、外置式不銹鋼加熱箱;

        2、內(nèi)設(shè)不銹鋼加熱管,功率12KW,配OMRON數(shù)顯式溫控系統(tǒng),監(jiān)控箱內(nèi)熱風(fēng)溫度,溫控范圍:~120℃。

        FFU壓風(fēng)系統(tǒng):

        結(jié)構(gòu):在烘干槽正上方的機架頂部設(shè)置一個FFU層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負(fù)壓風(fēng),致使工件加熱后附著物不易粘附。

        功能:因慢拉槽液溫較高,如無頂部的FFU壓風(fēng),大量的水汽將往上騰,水氣會再次附著于提出的藍(lán)寶石襯底上;安裝FFU后,可在上方形成局部正壓,大部分水氣從缸面的抽氣口抽走。

        其實,也有很多對干凈后的藍(lán)寶石襯底樣品選擇進行旋轉(zhuǎn)吹干處理。深圳威固特的甩干機的基本工藝操作流程簡單概述下:

        開機—參數(shù)設(shè)置—裝入樣品—啟動,執(zhí)行工藝流程—啟動,執(zhí)行工藝流程—過程結(jié)束,取出樣品。


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